電子潔凈廠房的施工特點 

        廣東坤靈今天跟大家共同交流一下關于電子潔凈廠房的施工特點。這次主要針對半導體工廠一些特點跟大家交流一下，一共五個部分來介紹，一個是廠房的結構特點，還有做這樣的廠房關鍵的難點，第三部分跟大家介紹一下潔凈廠房事實供需流程，第四個部分闡述一下潔凈管制內容，第五個部分簡單說一下建廠方面的特點和經驗。  

潔凈工程有它的特殊性，對于這樣的廠房它的特點非常明顯，第一個造價特點貴，隨著半導體工程的發展，這樣對于工廠的品質要求越來越高，TFT工廠也是一樣，TFT工廠本身的玻璃基板的尺寸越來越大，從原來的一代線到現在的主流八代線，隨著基本尺寸大造價越來越高。  

第二個特點是工期短，由于半導體工廠，TFT工廠的特點投資特點大，所有的建設方盡快短期進行生產，取得投資回報，作為施工單位來講擺在面前的一個特點就是工期要求非常緊。第三個特點是品質要求非常高，由于電子工廠它對廠房的依賴程度非常高，建廠當中的事故直接導致產品良品率的高低，第四個就是高復雜度，對于建廠來講，專業技術問題是一個非常全面的，涵蓋了多專業、多行業的問題，同時還有管理的問題。第五個特點是高整合度，對于建廠來講有這樣五個特點。  

主要的實施供需給大家做一個介紹，對于建廠來講，對于潔凈工程施工來講我們一般情況下是根據潔凈室的裝修作為控制的主線來考慮，首先我們做得是工作面分析，工作面我們要求封閉，整個廠房封閉以后才能作為潔凈工程的開始，如果沒有封閉的話，也要采用臨時的封閉，保證我們封閉施工作業。夾層地板安裝完成這個工作面的完成標志著上下兩個工作面可以同時展開施工作業。上面的工作主要是完成風管的安裝，支架的安裝等等。下面的工作主要是工業管線的作業，這樣的做法在目前做大面積廠房主流的施工方式，這個施工方式證明也是非常成功的，可以有效的解決安全問題，一個是高空掉落或者上下面的干擾。我們現在看到的這個圖就是分層作業面的示意圖，當我們活動地板完成以后，可以分成三個層面作業，可以保證工作有效的推進。第四個主要給大家介紹潔凈管制方面的內容，剛才講到過，對于潔凈工程來說，相比其他的潔凈工程最大的區別就是要求全過程的潔凈管控，潔凈管控主要有五個方面控制，第一個方面就是進入潔凈室施工人員的管制，因為人是帶入廠房里面主要的污染來源。第二是出入潔凈室管制區服裝的規定，第三個是進出潔凈室物料的管控，對于這個部分的控制和人的控制都是我們核心需要控制的內容。第四個要介紹潔凈室內施工管制，第五個部分就是人員和物料的動線，我們設置一個人流的通道口，這個是唯一的，通過這個唯一的通道口進入潔凈室。  

對于潔凈室管理我們公司對于高端的潔凈廠房我們把它劃分成五個階段，第一個階段是建筑物施工完成，將建筑物進行封閉，如果施工單位沒有封閉，我們會臨時進行封閉，保證廠房是在封閉的空間進行施工，這樣的目的是減少灰塵帶入潔凈室。主要的施工內容是對所有產生灰塵的作業都在這一階段進行完成，包括地面的打磨，包括支架開孔的都會在第一階段完成。    

第二部分是要對潔凈室土建進行封閉，使混凝土地面不會再產生。第三個潔凈室周圍墻板施工完成，最后一個是正壓送風新風管安裝完成，新風機安裝完成。  

對于人員服裝的管理要求，是要求所有進入潔凈區的工作人員一定要進行培訓，對于他們的服裝要求一般的工作服就可以，但是必須要干凈，鞋子也是一樣。潔凈室內清掃管理上也是這樣，作業區作業以后必須要清掃，打掃完成以后才能離開，每周進行全面的清潔清掃。潔凈管理的第二階段是潔凈室的四周已經封閉完成，往里面進行正壓送風，主要是控制廠房外面的灰塵進入到廠房里面來。這個階段主要的特點在服裝上面要穿室內安全鞋。服裝管理上面跟第一階段一樣要求穿干凈的工作服，清掃方面我們采用一般的吸塵器進行洗塵。  

第二階段完成以后進入第三階段，進入第三階段以后相區別上面的階段主要是要求在二層作業的時候要穿專用的軟底鞋。還有一個就是不允許電弧焊，只允許動用氬弧焊。第三階段的服裝管理要求干凈的工作服，二層要穿室內專用的軟底鞋，作業結束后必須清潔干凈，這個階段的吸塵器是要求帶高效過濾器的真空吸塵器。  

第三階段完成以后會轉入到第四階段的施工作業，到第四階段的施工作業來講，相對于第三階段最大區別是我們要求進入潔凈室工作人員要穿潔凈服，這個階段主要工作內容是完成高效過濾器和FFU的安裝和FFU的界限，下夾層動力設備的施工，電器設備的檢查、各種報警的確認。對于這個階段來講潔凈服要求是非常嚴格的，對于清掃來講使用不發塵的無塵布，專門清潔人員用酒精或防靜電清潔液擦洗，并采用高效過濾器進行清掃。  

最后一個階段，這個階段主要工作是對潔凈室的環境進行測定，所有的施工工作在第四階段完成了，第五是對環境的測定，這個相對于第四階段主要區別，對于潔凈人員來講不但是穿潔凈服和潔凈鞋，另外還要戴潔凈手套及口罩，清掃管理跟第四階段一樣。  

人員出入口管制，剛才介紹過整個廠房里面設置一個人員的入口，我們會在這個管制口里面設置這樣一些區域，第一個區域是換鞋區。第二是更衣區。第三個區是登記區。進入這三個區以后才能順利進入潔凈室進行施工。物料也是一樣，我們也是要求物料進行清潔完以后進行檢查，檢查以后進行登記最后才能進入潔凈區。  

接下來簡單把公司的情況做一個介紹，我們公司是一個專業做潔凈廠房的公司，我們公司是2008年成立的，目前公司核心業務是做潔凈室建設方面有關的工作，各項體系措施都是比較全面。原來我們公司是安裝施工企業，現在進行潔凈室系統的服務，包括設計、咨詢、建造、調試、運行、維護進行全過程的服務，謝謝大家。